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超純水設備是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。 一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。

1、 原水→原水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→軟水器→精密過濾器→diyiji反滲透→中間水箱→輸送泵→混合床離子交換器→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(建議工藝電阻率≥5MΩ.CM)

原水→原水增壓泵→精密過濾器→電滲析過濾器→中間水箱→中間水泵→離子交換設備→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電阻率≥5MΩ.CM)

原水→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→復床系統→中間水箱→中間水泵→混合離子交換設備→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電阻率≥5MΩ.CM)

2、原水→原水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→軟水器→精密過濾器→diyiji反滲透→紫外線殺菌器→純水箱→用水點(建議工藝電導率≤10μS/CM)

原水→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性碳過濾器→復床系統→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電導率≤10μS/CM)去離子設備處理工藝流程--EDI電去離子設備-去離子設備-水處理工藝流程-多介質過濾器-紫外線消毒-離子交換設備。